ʻO nā ʻāpana Optical i nā mīkini lithography

Loaʻa i ka hoʻolālā Optical kahi ākea o nā noi ma ke kahua semiconductor. I loko o ka mīkini paʻi kiʻi kiʻi, ʻo ka ʻōnaehana optical ke kuleana no ka nānā ʻana i ke kukui kukui i hoʻokuʻu ʻia e ke kumu kukui a hoʻolālā ʻia ma luna o ka wafer silika e hōʻike i ke ʻano kaapuni. No laila, ʻo ka hoʻolālā ʻana a me ka hoʻonui ʻana i nā ʻāpana optical i ka ʻōnaehana photolithography he ala nui ia e hoʻomaikaʻi ai i ka hana o ka mīkini photolithography. Eia kekahi o nā ʻāpana optical i hoʻohana ʻia i nā mīkini photolithography:

Pahuhopu kuhi
01 ʻO ka pahuhopu projection kahi mea ʻike nui i loko o ka mīkini lithography, maʻamau i loko o kahi pūʻulu o nā lens me nā lens convex, nā lens concave, a me nā prisms.
02 ʻO kāna hana ʻo ia ka hoʻoemi ʻana i ke ʻano kaapuni ma ka mask a hoʻopaʻa ʻia i ka wafer i uhi ʻia me ka photoresist.
03 ʻO ka pololei a me ka hana ʻana o ka pahuhopu projection he hopena koʻikoʻi i ka hoʻonā a me ka maikaʻi kiʻi o ka mīkini lithography.

aniani
01 Nā anianihoʻohana ʻia e hoʻololi i ke ala o ka mālamalama a kuhikuhi iā ia i kahi kūpono.
02 I loko o nā mīkini lithography EUV, he mea koʻikoʻi nā aniani no ka mea maʻalahi ke komo ʻana o ka kukui EUV i nā mea, no laila pono e hoʻohana ʻia nā aniani me ka hoʻohālikelike kiʻekiʻe.
03 ʻO ka pololei o ka ʻili a me ka paʻa o ka reflector i ka hopena nui i ka hana o ka mīkini lithography.

Nā kānana
01 Hoʻohana ʻia nā kānana e wehe i nā nalu i makemake ʻole ʻia o ka mālamalama, e hoʻomaikaʻi i ka pololei a me ka maikaʻi o ke kaʻina hana photolithography.
02 Ma ke koho ʻana i ka kānana kūpono, hiki ke hōʻoia ʻia ʻo ke kukui o kahi hawewe kikoʻī wale nō ke komo i ka mīkini lithography, a laila e hoʻomaikaʻi ai i ka pololei a me ka paʻa o ke kaʻina hana lithography.

Prisms a me nā mea ʻē aʻe
Eia kekahi, hiki i ka mīkini lithography ke hoʻohana i nā ʻāpana optical auxiliary ʻē aʻe, e like me prisms, polarizers, etc., e hoʻokō i nā koi lithography kikoʻī. ʻO ke koho, hoʻolālā a me ka hana ʻana o kēia mau mea optical pono e hahai pono i nā kūlana ʻenehana kūpono a me nā koi e hōʻoia i ka pololei kiʻekiʻe a me ka pono o ka mīkini lithography.

I ka hōʻuluʻulu ʻana, ʻo ka noi ʻana o nā ʻāpana optical i ke kahua o nā mīkini lithography e hoʻomaikaʻi i ka hana a me ka hana pono o nā mīkini lithography, a laila e kākoʻo ana i ka hoʻomohala ʻana o ka ʻoihana hana microelectronics. Me ka hoʻomau mau ʻana o ka ʻenehana lithography, ʻo ka hoʻonui ʻana a me ka hana hou ʻana o nā ʻāpana optical e hāʻawi pū i ka mana nui no ka hana ʻana i nā chips o ka hanauna e hiki mai ana.

No ka ʻike hou aku a me ka ʻōlelo aʻoaʻo loea, e kipa i kā mākou pūnaewele mahttps://www.jiujonoptics.com/e aʻo hou e pili ana i kā mākou huahana a me nā hoʻonā.